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Filmetrics F50系列 薄膜厚度测量仪

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Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)

測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。

不同的 F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是最受欢迎的产品。 一般较短的波长 (例如， F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

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• 集成光谱仪/光源装置

• 光纤电缆

• 4", 6" and 200mm 参考晶圆

• TS-SiO2-4-7200 厚度标准

• BK7 参考材料

• 整平滤波器 (用于高反射基板)

• 真空泵

• 备用灯

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• 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

• 应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）

• 网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)

• 硬件升级计划

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