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分类小贴士

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)是一种表面处理技术,它用于在固体表面上形成薄膜。澳门博彩网址大全网页版(PVD设备)是用于此类应用的专用设备。 澳门博彩网址大全网页版通常由四个主要部分组成:真空腔室、加热源、材料源和衬底支架。真空腔室是一个密闭的容器,用于保持反应过程中所需的低压环境。加热源是用来提供能量以加热材料源的设备,以便产生蒸汽或气体并将其输送到衬底表面。材料源是指用于产生蒸汽或气体的固态材料。最后,衬底支架是用来支持衬底的平台。 在物理气相沉积过程中,材料源通常会被加热以产生蒸汽或气体,在真空腔室中运输,然后沉积到衬底表面上形成薄膜。具体的工艺参数会根据不同的材料、样品几何形状和所需的薄膜质量进行优化。 物理气相沉积技术主要应用于制备金属、氧化物、硅、半导体和光电材料等。其优点包括精度高、可重复性好、具有良好的均匀性和控制性能。因此,PVD设备在现代微电子、光学、太阳能和防护涂料等领域得到了广泛的应用。

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